TY  - BOOK
AU  - Харченко,Валерий Владимирович
AU  - Грейсух,Моисей Рувимович
ED  - Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения АН Узбекской ССР
TI  - Легирование эпитаксиальных слоев полупроводников
PY  - 1979///
CY  - Ташкент
PB  - Фан
KW  - Полупроводники
N1  - Список лит. с. 115-121
ER  -