Харченко, Валерий Владимирович <br/><br/>
Легирование эпитаксиальных слоев полупроводников / 
В.В. Харченко, М.Р. Грейсух ; Центр. ПКТБ науч. приборостроения АН УзССР. 
 - Ташкент :  Фан,  1979. 
 - 124 с. 
<br/><br/>Список лит. с. 115-121 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники