TY  - BOOK
AU  - Романенко,Владимир Николаевич
TI  - Управление составом полупроводниковых слоев
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Проводники и полупроводники
KW  - Технология полупроводниковых материалов
KW  - диффузионные процессы в твердом теле
N1  - Список лит.: с. 185 - 190 (134 назв.)
ER  -