TY  - BOOK
AU  - Хаякава Ития
AU  - Ржанов,В.Г.
AU  - Ушаков,В.И.
AU  - Акифьев,В.Ю.
TI  - Чистые помещения
SN  - 5-03-000363-0 (русск.)
PY  - 1990///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Чистые производственные помещения
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
N1  - Авт. указаны перед вып. дан; Библиогр.: с. 439-450
ER  -