Чистые помещения / 
И. Хаякава и др.; Под ред.: И. Хаякавы; Пер. с яп. В.Ю. Акифьева и др. ; Под ред. В.Г. Ржанова, В.И. Ушакова. 
 - Москва :  Мир,  1990. 
 - 454 с. :  ил. 
<br/><br/> Авт. указаны перед вып. дан. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 439-450 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-03-000363-0 (русск.) 4-7530-4851-9 (яп.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Чистые производственные помещения<br/>Микроэлектронные схемы интегральные - Производство