TY  - BOOK
AU  - Папков,Владимир Сергеевич
AU  - Цыбульников,Марк Борисович
AU  - Малинин,А.Ю.
TI  - Эпитаксиальные кремневые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Микроэлектроника. Интегральные схемы
N1  - Список лит. с. 85-88
ER  -