Александров, Владимир Кузьмич <br/><br/>
Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов / 
В.К. Александров, Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин ; Ин-т электроники АН БССР. 
 - Минск :  Наука и техника,  1988. 
 - 239, [1] c. :  ил. ;  21 см. 
 - 681.2 (NLA) .
<br/><br/>Список лит. с. 233-238 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-343-00264-1 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Приборостроение<br/>Измерительная техника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>681.2 (NLA)