TY  - BOOK
AU  - Барил,Михаил Абрамович
AU  - Самойликов,Вячеслав Константинович
TI  - Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Электронное машиностроение
N1  - Список лит. с. 110-111
ER  -