TY  - BOOK
AU  - Батавин,Виталий Васильевич
TI  - Контроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев
PY  - 1976///
CY  - Москва
PB  - Сов. радио
KW  - Полупроводники
KW  - Тепловые двигатели в целом. Получение, распределение и использование пара. Паровые машины
N1  - Библиогр. 117 назв
ER  -