Батавин, Виталий Васильевич. <br/><br/>
Контроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев / 
В.В. Батавин. 
 - Москва :  Сов. радио,  1976. 
 - 104 с. :  46 рис., 7 табл. 
 - Массовая библиотека инженера "Электроника"  Вып. 9 .
<br/><br/>Библиогр. 117 назв. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники<br/>Тепловые двигатели в целом. Получение, распределение и использование пара. Паровые машины