TY - BOOK AU - Орлов,В.И. ED - Министерство электронной промышленности СССР TI - Откачные высоковакуумные системы и их элементная база: Обзоры по электронной технике PY - 1981/// CY - Москва PB - Изд-во ЦНИИ "Электроника" KW - Высоковакуумные системы N1 - Библиогр.: 73 (84 назв.) ER -