Комбинированные электроразряднын геттерно-ионные вакуумные насосы : Обзорная информация / Ш.А. Ахманов, М.Ш. Галимарданов, Н.П. Решетняк и др.; ЦИНТИхимнефтемаш. - Москва : Изд-во ЦИНТИхимнефтемаш, 1979. - 38 с. ил. - Серия ХМ-6. Криогенное и вакуумное машиностроение .




Вакуумные насосы