TY  - BOOK
AU  - Хирвонен,ДжК.
AU  - Бокшицкий,И.Я.
TI  - Ионная имплантация
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Ионная имплантация
N1  - Библиогр.: с. 385 - 391 (228 назв.)
ER  -