TY  - BOOK
AU  - Дофман,Вениамин Фриделевич
TI  - Газофазная микрометаллургия полупроводников
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Полупроводники
N1  - Библиогр.: с. 179 - 189(300 назв.)
ER  -