Получение металлов высокой чистоты для полупроводниковой техники /
В.Н. Вигдорович; Центральный научно-исследовательский институт информации и технико-экономических исследований цветной металлургии.
- Москва : Изд-во "Цветметинформация", 1969.
- 52 с. : табл.; 22 см.
- Металлургия редких металлов и полупроводников .
- 669.2 (NLA) .