Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы: Обзоры по электронной технике. Часть 1. Тенденции развития и классификация реакторов /
В.И. Иванов, Н.И. Николайкин, Э.Б. Сигалов; Мин-во электронной промышленности СССР.
- Москва : ЦНИИ "'Электроника", 1977.
- 35 с.
- Серия 7.Технология, организация производства и оборудование Вып. 14 .