TY  - BOOK
AU  - Шуман,Г.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Основные возможности и ограничения методов фотолитографии и электронолитографии: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
KW  - Полупроводники
N1  - Библиограф.: с. 53 - 56 (41 назв.)
ER  -