Основные возможности и ограничения методов фотолитографии и электронолитографии : Обзоры по электронной технике /
Г. Шуман; Министерство электронной промышленности СССР.
- Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975.
- 56 с. ил.
- Полупроводниковые приборы Вып.8(307) .