TY  - BOOK
AU  - Шелпакова,И.Р.
AU  - Юделевич,И.Г.
AU  - Аюпов,Б.М.
AU  - Карпов,Ю.А.
ED  - Академия наук СССР
ED  - Институт неорганической химии
TI  - Послойный анализ материалов электронной техники
PY  - 1984///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука, Сибирское отд-ние
KW  - Электротехника
N1  - Библиогр.: с. 159 - 179 (427 назв.)
ER  -