Сутырин, В.М. <br/><br/>
Проекционная электронная литография:  Обзоры по электронной технике / 
В.М. Сутырин, Х.И. Фейгин; Мин-во электронной промышленности СССР. 
 - Москва :  Электроника,  1973. 
 - 59 с.  ил. 
 - Полупроводниковые приборы. Вып. 10 .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы