Романов, А.С. <br/><br/>
Механические напряжения в тонких пленках :  Реферативно-аналитический обзор : Обзоры по электронной технике / 
А.С. Романов, В.В. Щеглова; Министерство электронной промышленности СССР. 
 - Москва :  Электроника,  1981. 
 - 68 с.  ил. 
 - Серия 2. Полупроводниковые приборы.  Вып. 6 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 63 - 68 (87 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Механические напряжения