TY  - BOOK
AU  - Ронская,Л.Ф.
AU  - Бродянский,Е.А.
AU  - Скубриев,В.Д.
AU  - Белановский,А.С.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Полупроводниковые пластины
N1  - Библиогр.: с. 119 - 123 (94 назв.)
ER  -