Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем : Обзоры по электронной технике /
Л.Ф. Ронская, Е.А. Бродянский, В.Д. Скубриев; Под ред. А.С. Белановского; Министерство электронной промышленности СССР.
- Москва : Электроника, 1971.
- 126 с. ил.
- Микроэлектроника. Вып. 3 .