TY  - BOOK
AU  - Скворцов,И.М.
AU  - Лапидус,И.И.
AU  - Орион,Б.В.
TI  - Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Газовая эпитаксия
N1  - Библиогр.: 113 назв
ER  -