Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия / 
И.М. Скворцов, И.И. Лапидус, Б.В. Орион и др. 
 - Москва :  Энергия,  1978. 
 - 136 с. :  ил. 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Газовая эпитаксия