TY  - BOOK
AU  - Зворыкин,Д.Б.
AU  - Александров,В.Е.
AU  - Байкальцев,Б.Л.
ED  - Мин-во электронной промышленности СССР
TI  - Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом: Обзоры по электронной технике
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Полупроводниковые приборы
N1  - Библиогр.: 129 назв
ER  -