Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом: Обзоры по электронной технике. Часть 2 /
Д.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев и др.; Мин-во электронной промышленности СССР.
- Москва : Электроника, 1975.
- 81 с.
- Серия 2. Полупроводниковые приборы. Вып. 12 .