Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом: Обзоры по электронной технике. Часть 2 / Д.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев и др.; Мин-во электронной промышленности СССР. - Москва : Электроника, 1975. - 81 с. - Серия 2. Полупроводниковые приборы. Вып. 12 .




Полупроводниковые приборы