TY  - BOOK
AU  - Зворыкин,Д.Б.
AU  - Александров,В.Е.
AU  - Байкальцев,Б.Л.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
KW  - Термическое оборудование
N1  - Библиогр.: с. 77 - 85 (129 назв.)
ER  -