Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом : Обзоры по электронной технике / Ч. 1 :
Д.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев и др.; Министерство электронной промышленности СССР.
- Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975.
- 85 с. рис., табл.
- Полупроводниковые приборы Вып. 11 (331) .