TY  - BOOK
AU  - Брюэр,Джордж Р.
AU  - Гринич,Джеймс С.
AU  - Херриот,Дональд Р.
AU  - Пресс,Ф.П.
TI  - Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
PY  - 1984///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Изготовление микроэлектронных приборов
N1  - Библиогр.: с. 316 - 328; Оригинал на англ.; Edited by George R. Brewer -; New York : Academic Press : 1980
ER  -