Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов / 
Дж.Р. Брюэр и др. ; Под ред. Дж.Р. Брюэра ; Пер. с. англ. Ф.П. Пресса. 
 - Москва :  Радио и связь,  1984. 
 - 336 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 316 - 328. 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Изготовление микроэлектронных приборов