TY - BOOK ED - Государственный плановый комитет Совета Министров УССР ED - Государственный научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований TI - Совершенствование технологии производства полупроводниковых приборов и материалов: Обзор PY - 1969/// CY - Киев PB - УкрНИИНТИ KW - Полупроводниковые приборы и материалы ER -