Пузырёв, Владимир Андреевич. <br/><br/>
Управление технологическими процессами производства микроэлектронных приборов / 
В.А. Пузырёв. 
 - Москва :  Радио и связь,  1984. 
 - 160 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 157 - 158 (68 назв.). 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные приборы