TY  - BOOK
AU  - Черняев,Владимир Николаевич
AU  - Васенков,А.А.
TI  - Технология производства интегральных микросхем: Учебное пособие для вузов 
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Интегральные микросхемы
N1  - Библиогр.: с. 364 - 366 (53 назв.); Предмет. указ.: с. 367 - 370
ER  -