Черняев, Владимир Николаевич <br/><br/>
Технология производства интегральных микросхем :  Учебное пособие для вузов / 
В.Н. Черняев ; Под ред. А.А. Васенкова. 
 - Москва :  Энергия,  1977. 
 - 376 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 364 - 366 (53 назв.); Предмет. указ.: с. 367 - 370 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Интегральные микросхемы