Федоров, Лель Павлович <br/><br/>
Производство полупроводниковых приборов / 
Л.П. Федоров, В.М. Багров, Ю.Н. Тихонов ; Под ред. Л.А. Петрова. 
 - Москва :  Энергия,  1979. 
 - 432 с.  ил. 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы