TY  - BOOK
AU  - Возмилова,Л.Н.
AU  - Луфт,Б.Д.
TI  - Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
PY  - 1982///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Луфт, Б.Д
KW  - Перевощиков, В.А
ER  -