Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / 
Б.Д. Луфт, В.А. Перевощиков, Л.Н. Возмилова и др.; Под ред. Б.Д. Луфт. 
 - Москва :  Радио и связь,  1982. 
 - 136 с.  ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Луфт, Б.Д. Перевощиков, В.А.