TY  - BOOK
AU  - Кутолин,С.А.
ED  - Труды конференций по электронной технике.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике: Материалы первого симпозиума
PY  - 1969///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Способы обработки материалов в микроэлектронике
ER  -