TY  - BOOK
ED  - Министерство высшего и среднего специального образования СССР
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Физические основы микроэлектроники: Сборник научных трудов 
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Физические основы микроэлектроники
N1  - Библиогр. в конце трудов
ER  -