Резвый, Р.Р. <br/><br/>
Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике :  Обзоры по электронной технике / 
Р.Р. Резвый, М.С. Финарев; Министерство электронной промышленности СССР. 
 - Москва :  Электроника,  1977. 
 - 80 с.  ил. 
 - Серия 2. Полупроводниковые приборы .
<br/><br/>Библиогр.: с. 71 - 80 (126 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковая микроэлектроника