Топфер, М. Микроэлектроника толстых пленок : Технология, Конструирование, применение / М. Топфер ; Пер. с англ. под ред. Т.Д. Шермергора. - Москва : Мир, 1973. - 260 с. : ил. Subjects--Topical Terms: Микроэлектроника