TY  - BOOK
AU  - Попов,Л.В.
ED  - Мин-во электронной промышленности СССР
TI  - Способы изготовления металлических масок для напыления тонкопленочных схем: Обзоры 
PY  - 1967///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИТЭИ
N1  - Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
ER  -