TY  - BOOK
AU  - Рубцов,И.Н.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Основные проблемы современной фитолитография: Аналитический обзор 
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Институт "Электроника"
KW  - Фитолитография
N1  - Библиогр.: с. 57 - 64 (95 назв.)
ER  -