Статистические методы анализа и контроля качества в полупроводниковом производстве : Обзоры по электронной технике / В.П. Кульвинова, Т.А. Иоаннисянц, А.И. Кочетков и др.; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : Институт "Электроника", 1970. - 34 с. табл. - Технология и организация производства Вып. 11 (183) .

Библиогр.: с. 32 (6 назв.)


Полупроводниковое производство