TY  - BOOK
AU  - Аграновская,М.Е.
AU  - Берман,С.Н.
AU  - Васильева,И.А.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Состояние и перспективы развития МОП и биполярной технологий изготовления интегральных схем: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Институт "Электроника"
KW  - МОП и интегральные схемы
N1  - Библиогр.: с. 37 - 38 (107 назв.)
ER  -