TY  - BOOK
AU  - Старюк,Ю.В.
AU  - Рубцов,И.Н.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Автоматизация сборочных процессов в полупроводниковом производстве: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1972///
CY  - Москва
PB  - Институт "Электроника"
KW  - Автоматизация сборочных процессов
N1  - Библиогр.: с. 48 - 49 (43 назв)
ER  -