Толстоплёночная микроэлектроника / 
В.Г. Гребенкина, В.С. Доброер, Л.И. Панов, Ю.П. Тризна. 
 - Киев :  Наукова думка,  1983. 
 - 248 с. :  ил., табл. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 241 - 244 (130 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Толстоплёночная микроэлектроника