TY  - BOOK
AU  - Борисенко,А.И.
AU  - Новиков,В.В.
AU  - Приходько,Н.Е.
ED  - АН СССР
ED  - Институт химии силикатов им. Гребенщикова
TI  - Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике
PY  - 1972///
CY  - Ленинград
PB  - Наука. Ленингр. отд-ние
KW  - Пленки в микроэлектронике
N1  - Библиогр.: с. 107 - 113 (108 назв.)
ER  -