Проблемы надежности многоуровневой металлизации больших интегральных схем : Краткий обзор по иностранным источникам /
А.И. Пыхтунова; Мин-во электронной промышленности СССР.
- Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975.
- 54 с. табл.
- Полупроводниковые приборы Вып. 13 .